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レーザー顕微鏡/Laser Scanning Microscope

07 01, 2012
Laser.jpg
滋賀県東北部工業技術センターには(レーザー顕微鏡:Laser Scanning Microscope)があります。
光学顕微鏡ではある高さにしかピントが合わ無いのですが、レーザー顕微鏡を用いると、
凹凸のある試料でも焦点深度の深い表面形状観察像が得られます。
レーザーで試料表面を走査し、ピントが合った位置の反射光を検出して表示します。
また、距離や高さを測長したり、断面画像や3D画像を表示したりすることができます。
写真は2種類のフィルムに対して、縦方向(Z軸)スキャンした様子です。
コーティングの膜厚やシリコン層の厚みが良く分かります。
フィルムや紙の表面観察など、開発者として、自身の目で確かめられる事に意義があります。
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